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    kSA SpectR 光譜反射率測試設備

    描述:這是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。kSA SpectR 光譜反射率測試設備具有多種在線監控和過程控制的應用功能,包括垂直腔表面發射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產研究。

    更新時間:2023-09-07
    產品型號:
    廠商性質:代理商
    詳情介紹
    品牌其他品牌產地類別進口
    應用領域環保,化工,生物產業,能源,電子

    kSA SpectR 光譜反射率測試設備是一種用于測量光譜絕對反射率,L*a*b*成色值和生長速率的非接觸式測量設備。該工具具有多種在線監控和過程控制的應用功能,包括垂直腔表面發射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監控測量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產研究。


    kSA SpectR 光譜反射率測試設備的光學鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。k-Space采用的該測量技術源自于美國Sandia國家實驗室,并得到了實驗室的使用授權。在這種測量原理中,薄膜每生長出一個新layer,程序就會自動擬合,將已有的所有基底和薄膜layer視為一個新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時以多個波長進行測量,每個波長都具有潛在的*優勢。此工具可在選定的波長范圍內輕松測量自定義光譜特征,如反射率的最小值、最大值、拐點或基線散射水平。


    測量實例

    850 nm DBR的光譜反射率


    在GaAs襯底上生長250nm的AlAs和500nm的GaAs時,532和940nm下的反射率及其擬合曲線


    AlAs生長期間的生長速率,光學常數和反射率實時擬合曲線


    AlAs和GaAs生長的未經校正的高溫計測量結果和經過校正的ECP溫度


    GaAs薄膜生長過程中單個反射率振蕩周期圖



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